【外延论文】不同晶体对氧化镓材料性能及日盲紫外光电探测的影响

        近期，由复旦大学宁波研究院的研究团队在学术期刊 Optical Materials 发布了一篇名为Influence of different crystals on the properties of gallium oxide materials and solar blind UV photoelectric detection（不同晶体对氧化镓材料性能及日盲紫外光电探测的影响）的文章。

摘要

        基于 Ga₂O₃ 的日盲紫外光电探测器在太阳紫外探测、天文学、空间安全通信等领域具有广泛应用。然而，Ga₂O₃ 材料性质及其晶相特征对光电探测性能的影响机制仍需系统深入研究。本研究采用等离子增强化学气相沉积（PECVD）法，在蓝宝石基底上生长 α、γ 和 β 相 Ga₂O₃ 薄膜，并基于这些薄膜制备日盲紫外（UV）光电探测器进行测试。实验测得 α、γ 和 β-Ga₂O₃ 的氧空位浓度分别为 15.97%、10.47% 和 8.26%。光电测试结果表明，在 10 V 外加偏压下，探测器的响应时间分别为 25.4 s（α-Ga₂O₃）、18.4 s（γ-Ga₂O₃）和 7.2 s（β-Ga₂O₃）。其中，β-Ga₂O₃ 日盲探测器对光的快速响应表明，降低氧空位缺陷的浓度有助于缩短探测器的响应时间，并提高其重复性。本研究揭示了 Ga₂O₃ 不同晶相结构与光电探测性能之间的关系，为 Ga₂O₃ 材料在光电探测、功率器件、透明电子器件等领域的未来应用提供了有价值的见解和指导。

原文链接：

https://doi.org/10.1016/j.optmat.2025.116733