
【会员新闻】杭州富加镓业 “一键长晶” 设备通过客户现场验收 氧化镓产业化迎来新突破
日期:2025-05-06阅读:7
近日,杭州富加镓业科技有限公司自主研发的氧化镓 EFG 法设备完成现场验收并顺利下线。这款具备 “一键长晶” 功能的设备实现晶体生长智能化控制,标志着氧化镓单晶制备技术取得重大突破,为高性能半导体材料的规模化生产奠定坚实基础。

氧化镓(Ga₂O₃)作为极具潜力的功率器件核心材料,长期受高温挥发分解、各向异性及热场不对称等难题制约,产业化进程缓慢。富加镓业坚持工艺与装备 “双轮驱动” 战略,通过优化 EFG 法生长工艺核心环节,将晶体生长习性相关技术深度嵌入设备,并融合机器学习技术,成功实现氧化镓单晶生长的 “无人驾驶” 模式。该技术有效降低对人工经验的依赖,显著提升晶体生产效率与质量,于 2024 年 12 月通过行业专家评估认证。
此次客户现场验收的顺利通过,不仅验证了设备技术的可靠性,更标志着 “一键长晶” 技术获得市场认可。富加镓业将以设备正式下线为新起点,持续推进工艺与装备协同创新,加速氧化镓材料产业化步伐,助力我国在高性能半导体领域实现新跨越。
关于杭州富加:
杭州富加镓业科技有限公司成立于 2019年 12 月 31 日,是杭州光学精密机械研究所注册成立的第一家“硬科技〞企业,公司以“让世界用上好材料”为愿景,开展宽禁带半导体氧化镓材料的产业化工作,核心产品为氧化镓单晶衬底、MOCVD外延片、MBE外延片、氧化镓晶体生长及加工装备,产品主要服务于功率器件、微波射频及光电探测等领域。
企业荣誉汇总:
2022年获得浙江省科技型中小企业;2023年获得国家高新技术企业;2024年获得杭州市企业高新技术研发中心及浙江省专精特新中小企业;2025年获得ISO9001质量体系认证(编号:20225Q20294R0M);在氧化镓领域,承担了国家发改委项目1项,国家工信部项目1项,参与了国家自然科学基金委、浙江省、上海市等国家及省部级项目3项。另外,获得国际专利授权12项(美国6项,日本6项),国内专利授权40项,“富加镓业”商标认证注册3项,软件著作权(“一键长晶”控制软件)4项。