【会员新闻】联盟理事单位华润微电子牵头《氧化镓衬底位错密度无损检测方法 X射线形貌法》团体标准成功立项

        2025年6月12-13日，在中国电子材料行业协会和全国半导体材料标准化分技术委员会指导下，中国电子材料行业半导体材料分会在浙江开化组织召开了《氧化镓单晶位错密度测试方法》、《β相氧化镓同质外延片》草案评审会以及《氧化镓衬底位错密度无损检测方法  X射线形貌法》等团体标准立项会。

        本次会议是按照国家有关部门对团体标准的要求和《中国电子材料行业协会团体标准管理办法》的规定召开的。参加的会议评审专家有全国半导体设备和材料标委会材料分技术委员会主任贺东江，全国半导体设备和材料标委会材料分技术委员会秘书长李素青，杭州中欣晶圆半导体股份有限公司原总经理郭建岳、中国电子材料行业协会标准化顾问马春喜，上海超硅半导体股份有限公司副总经理张俊宝，中山大学教授裴艳丽，中国电科46所研究员级高工张嵩。

        《氧化镓衬底位错密度无损检测方法  X射线形貌法》的团体标准由华润微电子有限公司作为牵头单位，武汉大学工业科学研究院、杭州市富阳区镓谷氧化镓产业发展服务中心（亚洲氧化镓联盟）、杭州富加镓业科技有限公司作为参与单位共同制定。华润微电子有限公司的孟标博士向各位评审老师及参会人员进行立项汇报，就项目的背景、立项意义、调研情况、发起单位、国内外标准现行情况对比等方面进行了详细介绍及说明。专家们对于报告内容从检测方法比对、检测结果的全面性、缺陷类型的分类及对应反馈等方面展开了积极探讨，提出了详细建议和思路指导，并同意该标准的立项。

        同为理事单位的杭州镓仁半导体有限公司在该会议上通过《氧化镓单晶位错密度测试方法》、《β相氧化镓同质外延片》两项团体标准草案评审，会上各位专家老师对草案内容进行了积极讨论，提出了增加样品章节以及开展多家实验室复测确认精密度等建设性意见。

《氧化镓衬底位错密度无损检测方法 X射线形貌法》立项小组与贺东江主任（左四）、林健首席（右四）、李素青秘书长（右三）合影

        联盟通过本次参与团体标准立项会学习了相关流程，加深对于团体标准的了解，对于氧化镓材料、半导体行业的前沿信息有了翔实的概念，增加了相关人员的知识储备和眼界，为今后给会员单位提供更加全面有效的服务打下了坚实的基础。