【外延论文】Ga₂O₃ 薄膜在柔性PET衬底上的制备及其性能

        由上海大学的研究团队在2025年光学成像与检测技术国际学术会议(OIDT 2025)发布了一篇名为 Fabrication and properties of Ga₂O₃ films on flexible PET substrates（Ga₂O₃ 薄膜在柔性PET衬底上的制备及其性能）的文章。

摘要

        氧化镓（Ga₂O₃）作为一种出色的超宽禁带半导体材料，非常适合用于日盲紫外（SUV）光电探测器。柔性光电探测器因其坚固耐用、适应性强和重量轻等特点，在光电子学领域取得了显著突破。在本研究中，采用射频磁控溅射（RF）技术在PET衬底上沉积了不同溅射功率下的 Ga₂O₃ 薄膜，并对柔性 Ga₂O₃ SUV 光电探测器的性能进行了评估。

原文链接：

https://doi.org/10.1117/12.3073474