行业标准
论文分享

【其他论文】β-(AlₓGa₁₋ₓ)₂O₃ 弹性常数及其在异质界面应用中的研究

日期:2025-10-22阅读:20

        由韩国浦项科技大学的研究团队在学术期刊 IEEE Nanotechnology Magazine 发布了一篇名为Elastic Constants of β-(AlxGa1−x)2O3 for Heterogeneous Interface Applications(β-(AlxGa1−x)2O3 弹性常数及其在异质界面应用中的研究)的文章。

摘要

        通过第一性原理计算分析了 β-(AlxGa1−x)2O3(x=0.125至0.25)的弹性与压电特性。其带隙可通过调节铝浓度实现调控,使其成为 Ga2O3 基高电子迁移率晶体管(HEMT)中极具前景的栅极绝缘层材料。计算得到的 13 个单斜晶系弹性常数揭示了其力学与电学行为随成分变化的规律,凸显了铝浓度对结构稳定性的影响。通过第一性原理计算,在 x=0-0.25 范围内揭示了 13 个单斜晶系弹性常数的成分依赖趋势,无需预设特定解析形式;这些趋势为先进半导体应用中应变工程材料的设计提供了依据。本研究为 β-(AlxGa1−x)2O3 材料提供了宝贵见解,为提升新一代 Ga2O3 HEMTs 性能铺平道路。

 

原文链接:

https://doi.org/10.1109/MNANO.2025.3607051