【会议论文】使用三乙基镓和二乙基镓乙醇进行β-Ga₂O₃的金属VPE的比较

        论文简介：来自东京农工大学应用化学系，东京农工大学FLOuRISH研究所和日本大阳日酸的K. Goto，T. Nishimura， H. Tozato，S. Sasaki，K. Ikenaga，M. Ishikawa，H. Machida和Y. Kumagai联合发表了一篇名为《Comparison of metalorganic vapor phase epitaxy of β-Ga₂O₃ using triethylgallium and diethylgallium ethoxide》的论文文章。该文章主要介绍了对β-Ga₂O₃的金属VPE的比较。