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【会议论文】β-Ga₂O₃(-201)衬底上的镁掺杂氮化镓的RF-MBE生长
日期:2023-02-28阅读:198
论文简介:来自日本工学院大学工学研究科和日本NCT的Tomoya. Yamaguchi,Mahiro. Hayasaki,Tomohiro. Yamaguchi,Tohru. Honda,Kohei. Sasaki,Akito. Kuramata和Takeyoshi. Onuma联合发表了一篇名为《RF-MBE growth of Mg doped GaN on β-Ga2O3 (-201) substrates》的论文文章。该文章介绍β-Ga2O3(-201)衬底上的镁掺杂氮化镓的RF-MBE生长。