【会议论文】利用mist-CVD法在C型和A型蓝宝石衬底上生长的α-(AlGa)₂O₃薄膜扭曲方向的结构波动

        论文简介：来自日本和歌山大学系统工程学院的Kazuyuki Uno、Hiroto Tamura和Marika Ohta联合发表了一篇名为《Structural fluctuation in twist direction of α-(AlGa)₂O₃ thin films grown on c- and a-sapphire substrates by mist chemical vapor deposition》的论文文章。该文章介绍了α-(ALGa)₂O₃薄膜扭曲方向的结构波动。