【外延论文】溶胶-凝胶法在石英和 Al₂O₃ 衬底上生长掺杂 β-Ga₂O₃ 薄膜

        由阿尔及利亚穆罕默德·希德尔大学的研究团队在学术会议6th International Conference on Electrical Engineering and Control Applications发布了一篇名为The Growth of Doped β-Ga₂O₃ Thin Films on Quartz and Al₂O₃ Substrates by Using Sol Gel Method（溶胶-凝胶法在石英和Al₂O₃衬底上生长掺杂β-Ga₂O₃薄膜）的文章。

摘要

        氧化镓在推动光电子器件技术发展方面具有巨大潜力，正逐渐成为宽带隙半导体领域的重要组成部分，适用于多种应用场景。本研究采用溶胶-凝胶法成功生长了掺杂与未掺杂的 β-Ga₂O₃ 薄膜。为提升掺杂 β-氧化镓薄膜的质量，本研究采用石英与蓝宝石（Al₂O₃）作为衬底，并分析其影响。通过X射线衍射表征样品结构，同时利用能量色散 X 射线光谱法检测薄膜元素组成。采用紫外-可见分光光度计测定光学透射率值，并通过光谱椭圆偏振仪获取厚度测量数据。扫描电子显微镜（SEM）图像揭示了样品的形态特征。

原文链接：

https://doi.org/10.1007/978-981-95-1113-6_18