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【会议论文】β-Ga₂O₃(-201)薄膜和CeO₂(001)衬底之间异质集成的外延关系的阐释

日期:2023-04-21阅读:181

        论文简介:来自阿卜杜拉国王科技大学高级半导体实验室的X. Tang和X. Li联合发表的一篇名为《Elucidation of the epitaxial relation between β-Ga2O3 (-201) thin film and CeO2 (001) substrate for heterogeneous integrations》的论文文章。该文章介绍了α-Ga2O3和CeO2衬底之间异质集成的外延关系。