【会议论文】观察β-Ga₂O₃在LPCVD过程中独立控制镓前驱体和衬底温度

        论文简介：来自印度坎普尔理工学院的Gavax Joshi、Yogesh Singh Chauhan和Amit Verma联合发表了一篇名为《Insights from independent control of gallium precursor and substrate temperature during LPCVD of β-Ga₂O₃》的论文文章。观察β-Ga₂O₃在LPCVD过程中的一些测试反应。