【会议论文】脉冲式MOCVD法沉积β-Ga₂O₃薄膜

        论文简介：来自西安电子科技大学的Tao Zhang、Yifan Li、Qian Feng、Yachao Zhang、Jincheng Zhang和Yue Hao联合发表的一篇名为《Deposition of β-Ga₂O₃ thin films by pulsed MOCVD》的论文文章。该文章介绍了MOCVD法沉积β-Ga₂O₃薄膜。