【会员新闻】喜报：富加镓业在国际上首次推出(011)面2英寸氧化镓衬底并实现批量供应

日期：2026-06-16阅读：35

杭州富加镓业科技有限公司（简称"富加镓业"）(011)面氧化镓（Ga₂O₃）单晶衬底已具备稳定批量供应能力，可面向国内外科研机构及企业持续交付。这一进展标志着富加镓业在氧化镓衬底多晶面、多规格产品化布局上取得重要突破，进一步完善了公司的产品矩阵。

日前，深圳平湖实验室对富加镓业 (011)面2英寸氧化镓（Ga₂O₃）单晶衬底的高分辨X射线衍射仪（HRXRD）测试结果表明，晶片5个点位的半高宽（FWHM）均值约为16.2 arcsec。

图1 平湖实验室HRXRD测试结果

FWHM数值越小，代表晶体中位错密度越低，晶格完整性越高。本次检测采用了三轴模式，相较于双轴测试具有更高的角度分辨率，测试结果更能真实反映晶体本征质量。由此充分说明，富加镓业量产的(011)面氧化镓（Ga₂O₃）单晶衬底质量达到国际先进水平，为下游功率器件、深紫外探测器等应用提供高可靠性的材料保障。

图2 富加镓业（011）面2英寸规格书

山东大学陶绪堂教授团队早在2023年即围绕氧化镓（011）晶面开展了系统性研究工作，是该领域较早进行深入探索的研究组之一。研究表明，（011）晶面与（001）晶面上诱发线性缺陷的位错近乎平行，因此该类位错无法贯穿（011）晶面，从而避免了由此类位错引发的线状缺陷，显著降低了器件的漏电流和击穿风险。此外，基于（011）面衬底生长的外延片表现出更低的缺陷密度。日本NCT公司同样采用（011）晶面衬底，制备出击穿电压超过10kV的垂直晶体管，进一步佐证了该晶面在高耐压功率电子器件中的应用前景。富加镓业(011)面衬底批量供应能力的实现，意味着客户可以获得稳定、一致的产品交付，有力支撑相关科研项目和器件研发。

图3 富加镓业（011）面氧化镓衬底

富加镓业成立于2019年底，是中国最早投身氧化镓单晶生长研究的先行者，也是目前业界领先的氧化镓材料及装备供应商。公司已获多轮亿元级别融资，荣获2026年杭州"准独角兽企业"称号，拥有全球首条万片级高质量氧化镓衬底产线，正牵头起草氧化镓领域首个国家标准。未来，富加镓业将持续扩充产品规格，秉持"让世界用上好材料"的企业使命，为全球客户提供更高品质、更多规格的氧化镓半导体材料，共同推动第四代半导体产业的高质量发展。

产品介绍

氧化镓设备：

公司研制了国际上首台具备“一键长晶”功能的EFG设备，可以满足2-8英寸晶体生长需求，目前获得国内授权专利6项，国际授权专利4项，可提供设备及配套工艺包。公司自行研制了全自动 VB 晶体生长设备，并在国内率先突破了12英寸单晶生长技术瓶颈，实现了大尺寸 VB 法单晶制备。目前获得国内授权专利6项，国际授权专利4项，可根据客户需求提供VB设备及工艺包。

氧化镓单晶衬底：

作为中国最早投身氧化镓单晶生长研究的先行者与业界领先的供应商，我们致力于为全球客户提供卓越的氧化镓单晶衬底。我们的产品线覆盖2-8英寸26种常规性氧化镓衬底产品，并能够提供尺寸，电学性能与晶向的定制化方案，满足高质量外延片研发及批量制备需求。

氧化镓外延片：

基于成熟的 MOCVD（金属有机化学气相沉积）与 MBE（分子束外延）技术平台，我们的产品线覆盖 2-6 英寸等15种常规性氧化镓外延片产品，及定制化 MBE 氧化镓外延片产品，为客户提供 “衬底-外延”一体化解决方案。外延层生长过程采用精准的工艺控制体系，可根据客户需求定制外延层厚度、掺杂浓度、组分均匀性等关键参数，能够满足不同功率等级、不同功能类型的器件研发与生产需求。

企业简介

杭州富加镓业科技有限公司

公司成立于2019年12月31日，公司以“让世界用上好材料”为愿景，开展超宽禁带半导体氧化镓材料的产业化工作，核心产品为氧化镓单晶衬底、MOCVD/MBE 外延片、布里奇曼法（VB法）及导模法(EFG法)晶体生长装备等，为材料研制提供系统性解决方案，加速超宽禁带氧化镓产业全链路贯通，推进氧化镓材料在功率器件、微波射频器件及光电探测等领域应用。公司在氧化镓领域发展方面取得的系列重要成果已获CCTV、《人民日报》、新华网、《中国证券报》、澎湃新闻等知名媒体专题宣传报道。企业荣誉汇总： 2022年获得浙江省科技型中小企业；2023年获得国家高新技术企业；2024年获得杭州市企业高新技术研发中心及浙江省专精特新中小企业；2025年获得 ISO9001质量体系认证（编号：20225Q20294R0M）；2024年度杭州市“新雏鹰”企业；在氧化镓领域，正牵头起草氧化镓领域首个国家标准，并承担了国家发改委项目1项，国家工信部项目1项，参与了国家自然科学基金委、浙江省、上海市等国家及省部级项目3项。另外，获得国际专利授权14项（美国 6 项，日本7项，欧洲1项），国内专利授权42项，“富加镓业”商标认证注册3项，软件著作权（“一键长晶”控制软件）5项。