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【会员新闻】拓诺稀科技亮相 FINE 2026｜以氧化镓材料外延与器件制备平台，连接下一代功率半导体应用
日期：2026-06-17阅读：24
前言：
2026 年 6 月 10 日至 12 日，2026 未来产业新材料博览会（FINE 2026）在上海新国际博览中心举行。广州拓诺稀科技有限公司携氧化镓材料外延及器件制备相关产品亮相 N1 馆先进半导体展区，与来自功率半导体、光电器件、新能源、科研院所及产业链上下游的专业观众展开交流。
作为一家聚焦氧化镓材料外延、定制化外延解决方案及氧化镓器件研发的半导体企业，拓诺稀科技希望通过本次展会，让更多行业伙伴看到氧化镓从材料生长、工艺控制到器件制备的技术路径，也进一步探讨其在高压、高效率功率电子系统中的应用潜力。
以材料外延为基础，
构建氧化镓器件制备能力
氧化镓作为超宽禁带半导体材料，近年来受到功率电子、深紫外光电等领域的持续关注。围绕氧化镓产业化进程，材料质量、外延工艺稳定性、掺杂控制、器件结构制备等环节，都是影响后续器件性能和应用落地的重要基础。
拓诺稀科技以氧化镓材料外延为核心方向，持续推进 β-Ga₂O₃ 外延材料的研发、生产与制备工作，形成从材料外延到器件制备的技术闭环：
外延生长 → 材料表征 → 器件制备 → 性能验证
在本次展会上，拓诺稀科技围绕“氧化镓材料外延与器件制备平台”进行了集中展示，重点呈现公司在同质外延、异质外延、肖特基势垒二极管（SBD）器件、芯片及裸片的制备等方向的阶段性成果。
多款氧化镓产品集中展示
本次展会期间，拓诺稀科技展示了多款氧化镓材料及器件相关产品，包括：
10 mm × 10 mm β-Ga₂O₃ 同质外延片（P/N型）
该产品基于 β-Ga₂O₃ 单晶衬底制备，是开展高质量同质外延研究和器件制备的重要材料平台，可用于低缺陷密度、高性能外延层及相关功率电子、深紫外光电子器件研发。
2 英寸蓝宝石衬底 β-Ga₂O₃ 异质外延片（P/N型）
该产品采用蓝宝石衬底进行 β-Ga₂O₃ 异质外延，兼顾晶体质量、衬底成本和尺寸扩展需求，可服务于氧化镓器件早期研发、工艺制备及应用探索。
其中，2 英寸蓝宝石衬底 β-Ga₂O₃ 异质外延片覆盖 P 型与 N 型方向，为后续器件结构设计和功能制备提供材料基础。
4 英寸蓝宝石衬底 β-Ga₂O₃ 异质外延片
4 英寸蓝宝石衬底 β-Ga₂O₃ 异质外延片体现了氧化镓异质外延向更大尺寸、更高产出率方向发展的可能性，也为未来规模化器件制造提供了进一步探索空间。
氧化镓基肖特基势垒二极管（SBD）
氧化镓基 SBD 是氧化镓功率器件中具有代表性的方向之一，面向高压、高频功率转换等应用场景。拓诺稀科技通过 SBD 器件展示了从外延材料到器件制备与性能制备的连接能力。
氧化镓基PN二极管
除封装器件外，公司也展示了氧化镓 基PN二极管，用于呈现器件制备环节中的关键成果，为后续工艺优化、性能测试和客户制备提供支撑。
面向产业需求，
提供材料与器件协同解决方案
围绕氧化镓材料与器件研发，拓诺稀科技目前重点开展两类业务：
外延业务
氧化镓外延片
定制化外延片
预研 / 科研合作
器件业务
氧化镓器件设计
氧化镓器件代工
氧化镓分立器件
通过外延与器件两端协同，公司希望为高校、科研院所、器件企业及产业链伙伴提供更灵活的材料平台、工艺制备与定制化技术支持。
推动氧化镓面向多元应用
随着高压、高效率、小型化功率电子系统需求不断提升，氧化镓材料在多个方向具备持续探索价值。本次展会期间，拓诺稀科技围绕以下应用方向与行业伙伴进行了深入交流：
光伏｜服务器电源｜电网｜电机驱动｜PCS 厂商
同时，氧化镓材料及器件也有望面向新能源汽车、智能电网、轨道交通、5G 通信、深紫外光电等终端场景开展更多制备与合作。
结语：
FINE 2026 为新材料、半导体及先进制造领域的企业和科研力量提供了高质量交流平台。通过本次参展，拓诺稀科技不仅展示了公司在氧化镓材料外延和器件制备方向的阶段性成果，也与众多产业链伙伴建立了进一步沟通的基础。
未来，拓诺稀科技将继续围绕氧化镓材料外延、器件制备和定制化解决方案持续投入，推动氧化镓技术从材料研发走向器件应用，为下一代功率半导体产业发展贡献力量。
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广州拓诺稀科技有限公司
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