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【会议论文】通过射频磁控溅射在蓝宝石基底上沉积的MgₓNi₁₋ₓO薄膜的P型导电性能

日期:2023-04-21阅读:194

        论文简介:来自日本工学院大学研究生工程院应用物理和电气工程与电子系和日本NCT的M. Murayama、A. Ishikawa、T. Yamaguchi、T. Honda、K. Sasaki、A. Kuramata和T. Onuma联合发表了一篇名为《P-type conductivity in MgxNi1-xO films deposited on sapphire substrates by RF magnetron sputtering》的论文文章。该文章介绍了在蓝宝石基底上沉积的氧化物薄膜的P型导电性能。