【标准动态】华润微电子中央研究院牵头制定氧化镓检测团标发布，助力超宽禁带半导体产业标准体系建设

        此次发布的团体标准，标志着我国氧化镓材料质量评价体系迈入无损化、标准化、精准化的新阶段，是推动超宽禁带半导体产业高质量发展的关键一步。标准以X射线形貌技术为核心，构建了衬底缺陷检测的统一技术规范，不仅有效破解了长期制约良率提升的检测瓶颈，更从源头为器件可靠性提供了有力保障。在全球化竞争日趋激烈的背景下，此项标准的落地实施，填补了国内该领域的技术空白，提升了我国在宽禁带半导体材料领域的话语权和主导力，为加速氧化镓从材料创新到规模化应用的跨越、打造自主可控的产业链生态提供了坚实的标准支撑，具有深远的战略价值。

        标准的制定与发布，是产业链上下游、高校及科研机构协同推进的成果。华润微电子中央研究院充分发挥牵头单位作用，统筹推进标准框架设计、技术指标论证及起草工作；亚洲氧化镓联盟积极发挥产业组织与协同平台作用，高效组织协调各阶段任务衔接、会议交流及意见汇总，保障制定工作高效、有序开展。

        该标准凝聚了我国氧化镓领域顶尖的科研与产业力量，由无锡华润微电子有限公司牵头，联合以下单位共同负责起草：

        武汉大学工业科学研究院、杭州市富阳区镓谷氧化镓产业发展服务中心（亚洲氧化镓联盟）、中国电子科技集团公司第四十六研究所、杭州富加镓业科技有限公司、杭州镓仁半导体有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、山东大学、北京镓创科技有限公司、苏州镓和半导体有限公司、进化半导体（深圳）有限公司、北京铭镓半导体有限公司、宁波镭晶科技有限公司、同济大学。

        作为氧化镓产业标准化建设的重要实践，此次标准发布也将为后续相关标准体系完善提供支撑。在此基础上，此次标准制定与发布也为后续关于《氧化镓衬底缺陷无损检测方法》的国家标准建设积累了技术基础和实践经验。未来，华润微电子中央研究院将继续围绕氧化镓材料质量评价、检测技术规范等方向深入布局，积极参与国家标准相关研究与制定工作，在推动产业标准体系完善、提升我国氧化镓领域技术影响力方面贡献更大力量。