【国际时事】美国发力氧化镓,押注高温腐蚀等极端场景应用
日期:2026-09-23阅读:28
当氧化镓被讨论时,高压功率器件往往是最先被关注的应用方向。但在美国,一项由落基山国家实验室(前身为“美国国家可再生能源实验室”)牵头开展的研发项目,正在将氧化物电子器件进一步带入高温、高压、腐蚀性气氛和机械应力并存的极端工作环境,探索其在能源、制造、交通、地热以及数据中心等领域的应用可能。
这项工作的重点,并不只是开发某一种器件,而是围绕材料、外延、器件制造和极端环境可靠性验证建立一套完整的技术路径。

图片说明:落基山国家实验室,Brooks Tellekamp 摄。实验室依托自身材料科学技术能力,推进高温、大功率电子器件的研发。
为什么要把电子器件带到“极端环境”?
在常温、常规功率条件下工作的电子器件,进入高温、高压或腐蚀性环境后,往往会面临材料性能下降、器件可靠性降低以及使用寿命缩短等问题。
但在许多能源和工业场景中,电子器件又必须直接面对这些复杂工况。
例如,地热井下监测需要器件长期承受高温环境;工业制造过程中可能同时存在高温、高功率和腐蚀性气氛;新型交通和能源系统则对高功率、高可靠性电力电子提出了更高要求。
因此,能够在极端环境下保持稳定工作的电子器件,成为先进能源和工业装备中的重要技术需求。

图表说明:本项目旨在研发氧化物电子器件(涵盖钝化层、传感层、电极接触层、半导体层、晶体衬底),满足大功率、高温以及先进能源、制造业、电网级应用中遇到的其他极端工况使用需求。落基山国家实验室 Al Hicks 制图。
从氧化镓晶圆开始,向完整器件链条推进
该项目以氧化物电子器件为核心,重点推进从材料到器件的多个环节。
首先是氧化镓单晶晶圆。项目计划提升美国本土氧化镓单晶晶圆制造能力,为后续外延和器件开发提供材料基础。
在此基础上,研究团队进一步开展半导体外延层生长,探索能够适应高电压和高温工作条件的外延材料。随后进入器件制造与传感器开发,利用优化后的晶圆和外延材料开发氧化物半导体器件及传感器。
最后,通过高温、高压、腐蚀性气氛和机械应力等条件下的测试,对器件的性能和可靠性进行评估。
也就是说,这项研发覆盖的并不是单一材料或单一器件,而是:
晶体衬底 → 外延层 → 器件结构 → 传感器 → 极端环境测试 → 可靠性验证
这一完整技术链条。

图文说明:本项目用到的落基山国家实验室技术能力包括:原子级精准界面的材料合成与表征;电子器件制备与验证(配图为刻槽微电子器件俯视照片);基于高压探针台开展的表征、建模仿真与 AI 算法开发。氧化镓界面显微图 (a) 由落基山国家实验室 Michelle Smeaton 拍摄;示意图由 Brooks Tellekamp 制作。
功率器件之外,氧化镓还能用于什么?
随着研发从材料和器件本身进一步进入实际工况,项目关注的应用范围也不再局限于传统功率器件。
在能源领域,相关器件覆盖能源转换以及高功率电力电子系统;
在地热领域,高温电子器件和传感器可用于井下环境监测;
在制造业,项目关注高温、高功率工业过程中的电子监测与控制需求;
在交通领域,相关研究涉及下一代交通工具中的电力电子应用;
此外,项目还涉及数据中心电力供应以及矿物开采加工等场景。
其中一个值得关注的方向是高温传感器。项目相关研究已经涉及氢气传感器,并尝试通过材料与器件设计提高其工作温度和使用寿命。
材料、器件与测试能力同步推进
极端环境电子器件的研发,对材料制备和器件测试提出了不同于常规电子器件的要求。
围绕这一方向,项目团队涉及原子级界面材料合成与表征、电子器件制备、高压测试、建模仿真以及AI辅助性能与可靠性验证等技术能力。
项目同时联合高校及产业合作伙伴开展研究。合作团队包括科罗拉多矿业学院冶金与材料工程相关团队;产业合作伙伴包括具备晶体生长和晶圆制造能力的Luxium Technologies Solutions,以及专注于外延生长工艺与装备的Kyma Technologies。
项目获得美国能源部先进材料与制造技术办公室的资金及实验设施支持。
从“能不能做”走向“能不能在极端环境下长期工作”
相比单纯追求器件电压、电流等性能指标,极端环境电子器件面临的另一个问题是:器件在真实复杂工况下能工作多久?
因此,该项目还将可靠性评价和加速验证纳入研发体系,并探索利用人工智能开展器件性能与可靠性的加速分析,为二极管、晶体管等器件的长期可靠运行提供验证方法。
与此同时,美国能源部此前围绕相关方向已经布局多个项目,包括20 kV氧化镓功率器件、宽禁带电力电子、氧化镓半导体气体传感器可靠性验证以及极端环境氧化物电子器件等。
当氧化镓进入更复杂的工作环境
从传统高压功率器件,到高温传感器,再到地热井下监测和复杂工业环境电子设备,氧化镓及其他氧化物半导体的研发场景正在向更加复杂的工作环境延伸。
对于氧化镓产业而言,这意味着材料优势最终需要面对的不只是实验室中的电学性能指标,还包括晶圆制造、外延质量、器件工艺、封装以及极端环境下的可靠性。
而这项国家实验室牵头的研发工作,提供了一个值得关注的海外案例:当应用环境从“高压”进一步走向“高温、高压、腐蚀与机械应力并存”,氧化物电子器件需要解决的,也将从单一器件性能问题,转向完整的材料—器件—可靠性技术体系。
这也是氧化镓从实验室性能指标走向实际应用时,需要进一步面对的问题。

