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【会议论文】(100)和(010)β-(AlₓGa₁₋ₓ)₂O₃异质外延薄膜的临界厚度限制的实验测定
日期:2023-07-13阅读:186
论文简介:来自美国国家研究委员会博士后研究员、日本NCT、美国海军研究实验室和加州大学洛杉矶分校材料科学与工程的James Spencer Lundh、Kohei Sasaki、Keita Konishi、Hannah N. Masten1, Jennifer K. Hite、Nadeem A. Mahadik、Mark Goorsky、Akito Kuramata、Karl D. Hobart和Marko J. Tadjer联合发表了一篇名为《Experimental determination of critical thickness limitations of (100) and (010) β-(AlxGa1-x)2O3 heteroepitaxial films》的论文文章。该文章介绍(100)和(010)β-(AlxGa1-x)2O3异质外延薄膜的临界厚度限制的实验测定。