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【会议论文】MOCVD生长的氧化镓(铝)薄膜、异质结构和原位电介质
日期:2023-07-14阅读:201
论文简介:来自加州大学圣芭芭拉分校和犹他大学电气和计算机工程学院的Sriram Krishnamoorthy、Arkka Bhattacharyya、Praneeth Ranga、Saurav Roy和Carl Peterson联合发表了一篇名为《MOCVD-grown Gallium (Aluminum) Oxide thin films, heterostructures and in-situ dielectrics 》的论文文章。该文章介绍MOCVD生长的氧化镓(铝)薄膜、异质结构和原位电介质。