【会员风采】会员单位——大连理工大学机械工程学院

单位介绍

大连理工大学机械工程学院成立于1949年，始终坚持“立德树人”宗旨，秉承“明德格物，博学笃行”院训。学院现有专任教师146人，其中教授/研究员72人。获得国家级人才荣誉或称号40余人次，拥有国家基金委创新群体、教育部和科技部创新团队。学院在高性能制造、精密和超精密加工、微纳制造、智能机电、重大装备设计等研究领域具有鲜明特色，承担了一大批国家级科研任务。共获得省部级以上科技奖励80余项，其中领衔获得国家级奖励6项：国家技术发明一等奖2项、国家科学技术进步一等奖（创新团队）1项、国家技术发明二等奖3项。面向新时代新需求，大工机械以培养一流精英人才、产出一流科研成果为新使命，服务制造强国战略，为中华民族伟大复兴贡献“大工力量”。

大连理工大学机械工程学院

研究团队

大连理工大学高性能制造团队在超精密加工理论与技术研究方向具备很强的技术力量和坚实的科研基础。先后承担和完成了国家自然科学重大基金、重点基金、面上基金、国家863计划、国家973计划、省部级科学基金以及总装预研基金等多项研究项目，对氧化镓、碳化硅、氮化镓、单晶硅、氮化铝等半导体材料的超精密加工进行了大量研究工作。研究成果获国家技术发明奖一等奖1项、国家技术发明奖二等奖1项、教育部技术发明奖一等奖2项、教育部科技进步奖一等奖1项、中国机械工业科学技术奖一等奖2项，辽宁省科学技术奖一等奖1项。出版《硅片超精密磨削理论与技术》、《难加工材料的磨削技术》等专著，发表学术论文100余篇。授权国家发明专利60余项，国际专利3项。

科研基础

大连理工大学机械工程学院建有“精密与特种加工教育部重点实验室”、“精密/特种加工与微制造技术教育部国防重点实验室”、“微系统与微制造辽宁省重点实验室”和“先进装备制造技术辽宁省重点实验室”等科研基地。研究团队拥有完备的精密/超精密加工设备及多类别分析与表征设备。磨削抛光设备：VG401型超精密磨床，MM7130精密平面磨床，602型精密台式金刚石线切割机、砂轮在线电解修整（EILD）磨削系统，CP-4型研磨抛光试验台，EJW-610I-1AL型CMP设备等精密/超精密加工设备。微观形貌测试和分析设备：NewView9000型3D表面轮廓仪，FlatMaster200型平面度扫描仪，Q45型扫描电镜，JEOL-6360型扫描电镜，XE-200型原子力显微镜，MultiMode原子力显微镜，VHX-100型1800万像素超大景深高清晰连续变焦数码显微镜，Talysurf CLI 2000多测头三维形貌仪、Talyrond365-500圆度仪，SZX12数码体视显微镜等分析表征设备。

团队拥有的超精密加工设备和检测仪器

成果展示