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【国内论文】亚微米级 E-Ga₂O₃薄膜的超大压缩塑性
日期:2024-01-19阅读:229
近日,由中国科学院宁波材料技术与工程研究所的研究团队在科学期刊《Small Methods》发表了一篇名为Ultra-Large Compressive Plasticity of E-Ga2O3 Thin Films at the Submicron Scale(亚微米级 E-Ga2O3薄膜的超大压缩塑性)的文章。
摘要
氧化镓(Ga2O3)通常以脆性形式断裂,为避免灾难性故障而实现大塑性变形的需求迫切。在这项研究中,合成了具有柱状晶体和部分未占据的镓位点的ε-Ga2O3薄膜,并且证明了亚微米尺度下ε-Ga2O3能够在不开裂的情况下被压缩到超大的塑性应变48.5%。通过原位透射电子显微镜纳米力学测试结合原子分辨率的表征,研究了ε-Ga2O3的压缩行为和相关机制。在压缩过程中,锯齿状的塑性流动和大应变突发是ε-Ga2O3的两种主要变形形式,这归因于位错的形成和层状结构的阵发,新晶粒的形成以及非晶化。亚微米尺度ε-Ga2O3薄膜的超大压缩塑性能够激发Ga2O3在微观或纳米电子和光电子器件中的新应用,尤其是在加工或使用过程中需要抗冲击性的应用。
原文链接:https://doi.org/10.1002/smtd.202301288