【国际论文】β-Ga₂O₃ 纳米机械谐振器的表面吸附和空气阻尼行为

        近期，由美国佛罗里达大学的研究团队在学术期刊《Advanced Materials Technologies》发布了一篇名为Surface Adsorption and Air Damping Behavior of β-Ga₂O₃ Nanomechanical Resonators（β-Ga₂O₃ 纳米机械谐振器的表面吸附和空气阻尼行为）的文章。

摘要

        β-氧化镓（β-Ga₂O₃）拥有4.5至4.9eV的超宽带隙，已经成为一种极具前景的半导体材料，适用于未来的功率电子、光电子以及气体和紫外（UV）辐射传感器等应用。在本次研究中，通过测量不同气体和压力条件下的共振特性，对双钳位 β-Ga₂O₃ 纳米机械谐振器的表面吸附和空气阻尼行为进行了探测和系统研究。通过将器件加热至300摄氏度以诱导加速吸附-解吸附过程，获得了对压力的高响应。β-Ga₂O₃薄膜的初始表面条件在影响谐振行为方面起着重要作用。UV臭氧处理证明能够通过消除物理吸附的杂质并填补表面氧空位缺陷来改变β-Ga₂O₃纳米片的初始表面条件，从而显著改变β-Ga₂O₃纳米机械谐振器的谐振行为。β-Ga₂O₃中的表面吸附和解吸附过程通过将经过UV处理的β-Ga₂O₃暴露在空气中表现出明显的可逆性。这项研究首次获得了有关β-Ga₂O₃表面条件如何影响其机械性能的信息，并有助于引导未来开发通过β-Ga₂O₃纳米电机械系统（NEMS）进行压力传感应用，尤其是在恶劣环境中。

原文链接：https://doi.org/10.1002/admt.202301356