【会员风采】会员单位 —— 费勉仪器科技（上海）有限公司

公司介绍

        费勉仪器创立于2012年，总部位于上海，是先进电子材料研发、制备与量测的仪器设备提供商。公司致力于利用底层的科学原理，为用户提供新技术、新工艺、新材料等领域的先进仪器设备。

        10余年发展道路上，我们始终坚持“自主研发+技术创新”，在超高真空、低温、薄膜制备及等离子四个技术领域，都有丰富的技术积累和成熟产品线，代表产品已在国内外众多知名高校、研究机构及工业客户，得到了广泛应用和认可。

        公司现规模约360多位员工，研发团队大多来自于985院校并有海外硕博经历，公司在上海（总部）及南京（子公司）共有20000m²以上独立的研发、生产空间。我们在自研自产的发展历程中，积累了全流程的生产管理经验，及专业的售后服务团队，赢得了众多国内外客户的高度认可和坚定信赖。

        近年来，公司成功吸引了多轮融资，拥有稳固的财务实力，良好的财务状况为公司的项目开发和长期运营提供了全面的支持和保障。并荣获了工信部专精特新“小巨人”企业、上海市专精特新企业、上海市高新技术企业等多项荣誉。

业务介绍

        费勉仪器作为国内先进的MBE设备制造商，致力于推动更先进的分子束外延技术进步，我们在超高真空装备、机械设计、外延工艺和软件开发等方面积累了丰富的经验，成为国内少数能为化合物半导体外延客户提供“一站式整体解决方案”的制造商之一。

        我们自主开发的分子束外延设备核心技术部件包括热蒸发源、高通量射频等离子源、衬底加热器、自动传样机械臂等，皆具备行业内先进的技术优势，客户盖国内外各类科研院所知名高校和半导体企业。已交付的从高性能标准组件到整体定制的整套装备，均赢得客户一致好评和信赖。

        相关科研单位利用费勉仪器生产的MBE装备在高功率/高频电子器件、自旋电子学材料、二维材料等领域发表了高水平论文，并与全球科研工作者共享研究成果，共同推进下一代化合物半导体器件的发展。使用我们MBE系统的客户在生长新型超宽禁带半导体氧化镓方面取得了显著进展，有望实现高质量氧化镓外延薄膜，进一步推动新一代半导体相关行业的发展。

技术进展

        分子束外延（MBE）整机和核心部件

        费勉仪器可提供 MBE 整机和核心部件，炉源等核心部件兼容用户已有的进口MBE 系统；提供针对量子器件等新材料、器件的定制系统开发。

技术特色：

1、覆盖单片到多片衬底的 MBE 整机和炉源、衬底加热器等核心部件;满足传统的 GaAs、InP 光电子、射频器件外延；

2、基于等离子辅助的 MBE 设备满足 GaN、Ga₂O₃ 等新器件外延需求；

3、基于等离子辅助的混合MBE可以实现在氮化物器件上直接外延氧化物，利用钙钛矿等氧化物的极高介电常数实现新型高频高功率射频功率器件开发。

进展阶段：

        已经具备全系列 MBE 炉源等核心部件的供货能力；目前已经实现单片 3inch、单片 4inch、单片 8inch 和多片 3、4inch 的 MBE 整机销售，用于GaAs器件、硅基氮化镓和氧化镓等新材料器件的外延，典型客户为头部半导体公司及各大研究所，如：杭州富加镓业、湖北九峰山实验室、上海技物所、合肥国家量子实验室、13 所、55 所等。