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【会员新闻】富加镓业氧化镓外延片上线， 开启第二成长曲线
日期：2024-08-30阅读：208
心中有目标，脚下有方向。杭州富加镓业科技有限公司（以下简称富加镓业）始终坚持产业化导向，积极助力氧化镓领域产业生态建设，为实现国产氧化镓“单晶-外延-器件”全链路贯通添砖加瓦。自公司成立以来，富加镓业专注于氧化镓单晶衬底研发及产业化，目前已实现导模法（EFG）6英寸氧化镓单晶生长技术突破、可实现4英寸氧化镓晶圆的稳定供应。
新材料的产业发展环环相扣，只有先做到串珠成链，才能实现聚链成群、集群成势。前期，富加镓业面向氧化镓单晶衬底材料端精准发力，致力于为高校及研发机构提供高性价比的氧化镓晶片。为了加速氧化镓行业发展，搭建氧化镓材料与器件供需对接桥梁，实现上下游协同发展，公司将陆续推出多种规格的氧化镓外延片，为氧化镓领域同仁提供更好的服务。
本次介绍的是基于分子束外延技术制备的氧化镓外延薄膜产品（图1），简称为MBE氧化镓外延片，主要应用于横向功率器件。本款产品采用非故意掺杂层与Sn掺杂层复合的双层外延结构，衬底材料为半绝缘型（010）Fe掺杂氧化镓。其中，常规产品掺杂层载流子浓度为1-4E17 cm-3，迁移率＞80 cm2/V·s，表面粗糙度＜2 nm（图2），其它详细指标请参考相关技术规格书（附件1）。
该款MBE氧化镓外延片电学性能已进入当前国际先进行列（图3），我们正在联合国内多家知名机构进行外延片器件验证，持续改进和优化，快速响应应用需求，加快推动氧化镓全链路国产化进程。
图1：MBE氧化镓外延片
图2：MBE氧化镓外延片AFM
图3：国内外基于MBE制备氧化镓薄膜电学性能汇总
[1] Applied Physics Express, 2012, 5(3): 035502.
[2] Applied Physics Letters, 2020, 117(22): 222102.
[3] APL Materials, 2020, 8(2): 021104.
[4] Applied Physics Express, 2017, 10(4): 041102.
附件1：
关于富加镓业：
杭州富加镓业科技有限公司成立于 2019年 12 月 31 日，是杭州光学精密机械研究所注册成立的第一家“硬科技〞企业，公司以“让世界用上好材料”为愿景，开展宽禁带半导体氧化镓材料的产业化工作，主要从事氧化镓单晶材料生长、氧化镓衬底及外延片研发、生产和销售工作，产品主要应用于功率器件、微波射频及光电探测等领域。
目前，公司已获得多项荣誉：
2022年获得浙江省科技型中小企业；2023年获得国家高新技术企业；2024年获得杭州市企业高新技术研发中心及浙江省专精特新中小企业；在氧化镓领域，承担了国家发改委项目1项，国家工信部项目1项，参与了国家自然科学基金委、浙江省、上海市等国家及省部级项目3项。另外，获得国际专利授权12项（美国6项，日本6项），国内专利授权40项，“富加镓业”商标认证注册3项，软件著作权（“一键长晶”控制软件）3项。
如需了解更多关于杭州富加镓业及其产品的信息
请访问我们的官方网站 ：www.fujia-hiom.com
