【外延论文】拉曼光谱是评估氧化镓（Ga₂O₃）薄膜结构质量和多态性的有效工具

        近期，由意大利帕尔玛大学的研究团队在学术期刊Applied Spectroscopy发布了一篇名为Raman Spectroscopy as an Effective Tool for Assessment of Structural Quality and Polymorphism of Gallium Oxide (Ga₂O₃) Thin Films（拉曼光谱是评估氧化镓（Ga₂O₃）薄膜结构质量和多态性的有效工具）的文章。

摘要

        拉曼光谱是一种多功能且无损的技术，用于开发氧化镓 (Ga₂O₃) 相检测和识别的方法。该方法结合了实验结果和广泛的文献调研，建立了一种强大的拉曼光谱方法，用于无损评估Ga₂O₃薄膜的相纯度并检测次相。X射线衍射用于对比，突出了这些技术为Ga₂O₃表征提供的互补信息。包括一些案例研究，以展示所提出的光谱方法的实用性，例如沉积条件（如金属有机气相外延和脉冲电子沉积 (PED)）以及生长过程中引入的外来元素（如PED中的锡）对Ga₂O₃多晶型的影响。总结表明，拉曼光谱提供了一种快速、可靠且无损的高分辨率方法，特别适用于Ga₂O₃薄膜的相检测和晶体质量表征。

原文链接：

https://doi.org/10.1177/00037028241267925