【器件论文】利用各向同性非晶态氧化镓实现 DUV 偏振检测

        近期，由松山湖材料实验室的研究团队在学术期刊 The European Physical Journal Special Topics 发布了一篇名为 Enabling DUV polarization detection with isotropic amorphous gallium oxide（利用各向同性非晶态氧化镓实现 DUV 偏振检测）的文章。

摘要

        极化检测技术已成为现代光电子信息科学的重要研究前沿，然而由于缺乏合适的超宽带隙材料，紫外光（UV）尤其是深紫外 (DUV) 范围内的极化传感仍然难以实现。为了填补这一空白，我们引入了一种高度灵敏的深紫外辐射偏振探测器，利用亚波长金属光栅与非晶氧化镓 (a-Ga₂O₃) 集成。我们的方法通过聚焦离子束 (FIB) 集成周期性 Au 光栅结构（间距：167 nm，宽度：100 nm，间距：67 nm，高度：40 nm），实现了 21.49 的显着消光比。时域有限差分 (FDTD) 模拟证实了这些光栅的显着偏振过滤能力，揭示了明显的透射差异，垂直偏振光透射率是平行偏振光的 2.22 倍。这项工作不仅扩展了 a-Ga₂O₃ 在 DUV 极化检测领域的应用，而且展示了一种实现偏振灵敏度的有效策略，即使对于各向同性非晶材料也是如此。

原文链接：

https://doi.org/10.1140/epjs/s11734-024-01390-1