【国内新闻】氧化镓材料的研究推进---筹建上海市宽禁带与超宽禁带半导体材料重点实验室

        上海市正在积极推进上海国际科创中心的建设，聚焦半导体集成电路领域，加快宽禁带与超宽禁带半导体产业体系建设。

        其中，超宽禁带半导材料——氧化镓，因其具有禁带宽、击穿场强高、耐辐照强等显著优势，已成为国家战略性材料。目前，氧化镓单晶技术已经达到满足器件产业化所需的 6 英寸水平，单晶生长装备具备“AI 一键长晶”的能力；MOCVD 技术也在氧化镓同质外延薄膜批量制备方面展示出明显优势，氧化镓器件性能已超越碳化硅的理论极限水平。然而，与宽禁带半导体材料产业化水平相比，氧化镓材料及器件仍处于产业化培育阶段，存在基础理论机理支撑不足、产业技术不成熟、以及产学研体制机制不完善等问题，这些瓶颈在一定程度上制约了行业的进一步发展。

        上海天岳半导体材料有限公司（简称：上海天岳）联合中国科学院上海光学精密机械研究所（简称：上海光机所），共同筹建了“上海市宽禁带与超宽禁带半导体重点实验室”。上海光机所的齐红基研究员为实验室共执行主任，主要开展氧化镓、金刚石晶体制备基础理论研究和应用研究，重点突破大尺寸、低成本、极低位错密度超宽禁带半导体材料高效制备技术。上海市宽禁带与超宽禁带半导体重点实验室以产业化为目标导向，推动技术研究创新和应用研究创新的深度融合，培育新质生产力；助力上海成为我国宽禁带和超宽禁带半导体创新高地，形成具有全球影响力的产业创新集群。

        上海光机所是国内最早开展氧化镓晶体研究单位之一，2017 年发起了首届海峡两岸氧化镓会议，氧化镓项目团队先后承担氧化镓晶体相关多个国家及地区项目，包括：国家重点研发计划、国家工信部专项、上海市战略前沿专项及多个国家自然科学基金等。另外，围绕地方的产业转型与升级等发展需求，积极推进科技成果转化，形成以上海光机所为科技创新源头，以转化平台作为成果中试孵化基地的科技创新与转化格局。氧化镓团队依托杭州光学精密机械研究所的成果转化平台，于 2019 年创立杭州富加镓业科技有限公司，致力于将科研成果转化为实际生产力，推动氧化镓材料的规模化应用和产业化发展。公司成立以来，围绕氧化镓技术开展了“单晶-外延-器件”全链条布局，力争在超宽禁带半导体领域占据行业领先地位。