【器件论文】基于 Ga₂O₃ 光电探测器阵列的超灵敏动态紫外线成像技术

        近期，由中国科学技术大学的研究团队在学术期刊 Optics Letters 发布了一篇名为 Ultrasensitive dynamic ultraviolet imaging based on a Ga₂O_{3 photodetector array（基于} Ga₂O₃ 光电探测器阵列的超灵敏动态紫外线成像技术）的文章。

摘要

        Ga₂O₃ 探测器中的缺陷和噪声传统上限制了其实际应用。本文通过将三乙基镓的流量 200 sccm 减少至 50 sccm，有效抑制了氧空位，导致噪声从洛伦兹型转变为闪烁型，噪声电流从 0.15 nA 显著降低至 1.01 pA。此改进提升了探测器的性能，获得了高灵敏度（3.72 A/W）、快速响应时间（τ_d1/τ_d2  = 1.6/13 ms）以及日盲检测特性。基于该低噪声探测器，开发出 8 × 8 光电探测器阵列和紫外成像系统，能够在 3 m 的距离内进行目标识别，检测强度为 2.6 μW/cm² 的紫外辐射，并实时捕捉点光源的空间运动。这些进展标志着高速、高灵敏度、日盲紫外成像系统的发展取得了重要进展。

原文链接：

https://doi.org/10.1364/OL.555862