
【会员论文】同济大学徐军教授、唐慧丽教授研究团队:空气退火对Bi掺杂β-Ga₂O₃单晶的光学和发光性质的影响
日期:2025-07-15阅读:32
由同济大学徐军教授、唐慧丽教授研究团队在学术期刊 Journal of Luminescence 发布了一篇名为 The Effect of Air Annealing on the Optical and Luminescence Properties of Bi-Doped β-Ga2O3 Single Crystals(空气退火对 Bi 掺杂 β-Ga2O3 单晶的光学和发光性质的影响)的文章。
项目支持
本研究得到上海市科技计划项目(No. 23511102302)和国家自然科学基金(No. 12375181 和 12275194)的资助。
背 景
氧化镓(Ga2O3)作为一种有前途的第四代超宽带隙半导体材料,因其约 4.9 eV 的带隙和掺杂相容性,在紫外线日盲检测和功率器件领域展现出显著潜力。通过光学浮区(OFZ)方法生长时,β-Ga2O3 具有显著优势,包括快速生长周期和无坩埚加工,可实现高质量单晶体生产。这些特性使 β-Ga2O3 在半导体光学研究中脱颖而出,并具有广阔的应用前景。
在本研究中,探讨了 1000 ℃ 空气退火对 Bi 掺杂 β-Ga2O3 单晶的结构、形态及光学性质的影响。通过对比未退火样品与空气退火样品在晶体结构、表面形态及光学性质方面的变化,揭示了空气退火对表面元素分布及粗糙度的影响。此外,通过光谱分析,探讨了退火诱导的空位缺陷对发光性质的调控机制。这些发现将有助于深入理解 Bi 掺杂 β-Ga2O3 单晶的光学性质及复合过渡过程。
主要内容
β-Ga2O3 作为一种极具前景的第四代超宽带隙半导体材料,可通过光学浮区法生长为铋掺杂单晶。本研究探讨了空气退火对 Bi 掺杂 β-Ga2O3 单晶的光学和发光性能的影响。对比生长样品与空气退火样品发现,退火通过环境氧补偿降低了 Bi 掺杂 β-Ga2O3 单晶中的 VO 浓度。退火后,透射光谱显示载流子浓度显著降低,而 PL 光谱表现出荧光强度增强及衰减时间延长,且 GL 发射比例增加,这归因于 VGa 含量的提升。这一现象是由于载流子浓度降低有效抑制了奥格复合,从而增强了以辐射复合为主的发光过程。这些发现不仅阐明了退火对 Bi 掺杂 β-Ga2O3 单晶光学性质的影响,还进一步深化了我们对其复合过渡机制的理解。
创新点
• 研究了空气退火对 Bi 掺杂 β-Ga2O3 单晶的影响。
• 退火后,荧光强度显著增强,衰减时间延长。
• 进行退火处理后,超宽带隙特性仍保持不变。
结 论
本研究探讨了 1000 °C 空气退火对 Bi 掺杂 β-Ga2O3 单晶基本性质的影响,特别关注其光学性质。研究发现,退火会引发晶体再结晶,导致表面粗糙度增加和晶体质量不均匀,但同时提高了可见光透过率。此外,空气退火通过环境氧气补偿了 VO 的浓度,但同时增加了 VGa 的浓度,从而显著增强了与 VGa 相关的 GL 发射。此外,退火后 PL 衰减时间延长,这可能与非辐射跃迁的抑制有关。这些发现不仅揭示了退火对 Bi 掺杂 β-Ga2O3 单晶光学性质的影响,还进一步加深了对其复合跃迁的理解。未来研究将扩展退火温度和时间范围,并结合缺陷演化计算与腐蚀分析,以优化器件制备并提升性能。

图1. 在两种不同处理条件下拍摄的 UID 和 Bi 掺杂 β-Ga2O3 单晶片的照片。

图2. 不同处理条件下 UID 和 Bi 掺杂 β-Ga2O3 单晶的 XRD 谱图及摇摆曲线:(a)全范围 XRD 谱图;(b)UID的摇摆曲线;(c)Bi 掺杂 β-Ga2O3 单晶的摇摆曲线。
DOI:
doi.org/10.1016/j.jlumin.2025.121367