【外延论文】PbO-Ga₂O₃ 体系多晶薄膜的制备及其在直接转换柔性X射线探测器中的应用

        由成都信息工程大学的研究团队在学术期刊 Applied Surface Science 发布了一篇名为Preparation of PbO-Ga₂O₃ system polycrystalline thin film for direct conversion flexible X-ray detector application（PbO-Ga₂O₃体系多晶薄膜的制备及其在直接转换柔性 X 射线探测器中的应用）的文章。

摘要

        非晶体 PbO-Ga₂O₃ 已被证明具有对直接 X 射线探测器有利的光电特性。本研究采用电子束蒸发法制备了一系列不同镓原子百分比的 PbO-Ga₂O₃ 多晶薄膜。作者研究了薄膜结构和光电特性如何随镓含量而变化。在聚酰亚胺（PI）基板上制备了基于 PbO-Ga₂O₃ 多晶薄膜的金属/半导体/金属（MSM）（30 nm/200 nm/30 nm）结构的柔性 X 射线探测器。这些柔性探测器在 50 V 偏置电压下表现出极低的暗电流，仅为 6.62 pA，检测限为 1.796 nGy/s，灵敏度高达 16.786 × 10³μC·Gy⁻¹cm⁻² 平均 X 射线能量为 60 keV，平均 X 射线能量为 0.7171 mGy/s。这项研究的结果表明 PbO-Ga₂O₃ 多晶薄膜具有用作柔性X射线检测材料的潜力。

原文链接：

https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2025.164328