会员风采
【会员风采】会员单位 —— 蓝河科技（绍兴）有限公司
日期：2025-09-15阅读：19
一、单位简介
蓝河科技致力于化合物半导体MOCVD和CVD设备创新与国产化， 拥有全球化合物半导体领域顶尖技术团队和自主知识产权。集团旗下公司获得“高新技术企业”、“上海市专精特新中小企业”、“江苏省专精特新中小企业”、徐州市技术中心、上海高新技术成果转化、浦东新区研发机构、 浙江省创新创业团队、 “吉林省发明一等奖”等多项荣誉。并通过SEMI-S2、SEMI-S6、质量管理体系、知识产权管理体系等认证。
蓝河科技根据市场和产业链的实际情况布局有4个基地，分布于江浙沪三省市，生产经营面积达17000平米，已形成集团化发展的完整格局。集团旗下包含：蓝河科技（绍兴）有限公司、楚赟精工科技（上海）有限公司、申集半导体科技（徐州）有限公司、蓝河半导体科技（长兴）有限公司。
蓝河科技拥有全球化合物半导体领域顶尖技术团队和自主知识产权， MOCVD和CVD系列设备产品已在第二代半导体InP和GaAs、第三代半导体SiC和GaN、第四代半导体Ga2O3和低维MoS2及WSe2等材料外延生长中获得广泛应用，销售业绩稳居MOCVD设备领域国内企业前列。
绍兴办公场所
上海办公场所
徐州办公场所
长兴办公场所
二、研发团队介绍
蓝河科技由国家千人计划创业人才、留德归国博士领军创办，创始人曾历任国际知名MOCVD设备、光伏设备公司总部技术一线岗位和高级管理岗位。创始团队平均拥有20余年MOCVD装备和技术研发、制造及管理经验。作为深耕化合物半导体MOCVD设备领域的企业，公司拥有员工近300人，汇聚了国内MOCVD装备和技术领域大量头部人员和中坚力量，核心管理及技术团队均来有着国内外一流的半导体设备制造公司、光电行业头部企业或顶尖科研机构的丰富经历，合作年限普遍超过10年，创始团队之间更是超过15年、默契互信。
企业荣誉墙
实验室
三、成果展示
● 团队成果展示（氧化镓领域）
公司MOCVD设备已经形成既有低压又有高压技术，既有水平流又有垂直流技术的4大成熟MOCVD产品平台，完美契合产业量产及院所研发需求。充分掌握MOCVD设备及关键技术，拥有完整自主知识产权及强大且完善的技术、服务团队，能够为客户提供高质量产品及一站式服务。
公司MOCVD设备在InP/GaAs、GaN/AlGaN、Ga2O3、2D材料等领域均实现批量出货，应用遍及化合物半导体材料领域，其应用主要涉及光电器件、功率器件及激光通信与太阳能光伏等领域。合作伙伴包括业界头部企业和知名科研院所，客户数量超过60家，并与多家公司及院所合作承接多项国家级材料及MOCVD相关重大专项，并多次获得省级、国家级表彰及奖励。
公司除了提供成熟MOCVD设备之外，还为客户提供特色材料的定制化MOCVD设备、氯气（或氯化氢）烤盘炉及衬底再生设备。
● 产品成果展示
CS系列氧化镓MOCVD系统
外延材料：Ga2O3，平台也适合InP/GaAs、AlN、GaN、2D材料、石墨烯、BN等
CS150产能：6x2" 1x4" 1x6"
CS260产能：12x2" 3x4" 1x6" 1x8"
CS300产能：19x2" 5x4" 3x6" 1x8" 1x12"
特点：平台成熟，智能化程度高，操作简单，外延材料质量高，外延材料厚度均匀性好、重复性好，运行成本低，交期短
