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【衬底论文】采用光学浮区法生长的 β-Ga₂O₃ 单晶的动态稳定性、微观结构及光电性能
日期:2025-09-17阅读:9
由合肥工业大学的研究团队在学术期刊 CrystEngComm 发布了一篇名为 Dynamic stability, Microstructure and Optoelectronic performance of β-Ga2O3 single crystal by the Optical Floating Zone Technique (采用光学浮区法生长的 β-Ga2O3 单晶的动态稳定性、微观结构及光电性能)的文章。
摘要
采用光学浮区法制备了 β-Ga2O3 [100] 单晶。当旋转速度从 12 rpm 提高到 15 rpm 时,周期性生长条纹消失。随着生长速度从 10 mm/h 增加到 15 mm/h,熔融区高度从 11.9 mm 增至 12.8 mm。在 V=12 mm/h 条件下获得的 β-Ga2O3 单晶的半高宽(FWHM)为 0.139°。阶梯状凹坑的形成与晶体的解理特性相关,而梯形和菱形凹坑的形成则归因于 β-Ga2O3 单晶中的缺陷。在 (400) 和 (002) 晶面上存在边缘位错,但在 (-601) 晶面上未发现位错。拉曼光谱和紫外吸收光谱表明,在 V=12mm/h 和 R=15 rpm 条件下制备的 β-Ga2O3 单晶质量最高。
原文链接:
https://doi.org/10.1039/D5CE00570A