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【会议论文】等离子体辅助分子束外延生长的(010)β-Ga₂O₃薄膜中镁的掺杂和扩散情况

日期:2023-03-01阅读:210

        论文简介:来自加州大学圣芭芭拉分校材料科学系的Akhil Mauze, Yuewei Zhang, Takeki Itoh 和James S. Speck联合发表了一篇名为《Doping and diffusion of Mg in (010) β-Ga2O3 films grown by plasma-assisted molecular beam epitaxy》的论文文章。该文章的主要内容围绕生长(010)β-Ga2O3薄膜中镁的掺杂和扩散情况展开。