【会员新闻】突破“盲”区,智见未来:氧化镓基日盲紫外光电探测芯片实现产业化
日期:2025-10-24阅读:95
近日,天津理工大学研发团队联合天津英孚瑞半导体科技有限公司推出首款氧化镓基日盲紫外光电探测芯片。该芯片针对260nm波长的光具有特异响应,在-10 V偏压下,光暗电流比可以达到5.5×105,满足了光电探测芯片的应用需求。研发团队实现了从外延材料、芯片设计制造到封装测试的全链条技术自主可控。目前,该款芯片正在进行应用验证中。

图1、氧化镓基日盲紫外光电探测器

图2、氧化镓日盲紫外光电探测芯片光谱响应曲线
日盲紫外探测技术,特指对太阳辐射中被臭氧层强烈吸收、无法到达地面的紫外波段(通常为200-280 nm)进行探测的技术。由于这一波段在自然环境中近乎“黑暗”,任何人造光源在该波段的辐射都极易被识别,从而具备了极高的信噪比和极低的虚警率。
本产品感光区采用自主研发的氧化镓外延层,作为超宽禁带半导体材料的代表,氧化镓材料的禁带宽度高达4.9 eV,天然对日盲紫外光敏感,而对可见光完全“无感”,是制备日盲紫外探测器的“天选材料”。与传统方案相比,氧化镓探测器无需昂贵的滤光片,即可实现极高的波长选择性,在性能、成本和体积上均展现出颠覆性优势。
氧化镓日盲紫外探测器的产业化,在电力安全监测、森林防火与消防、国防与导弹预警、环境与科学探测、工业过程控制等场景有着广阔的应用前景。
关于英孚瑞
天津英孚瑞半导体科技有限公司是一家专注于镓系半导体材料光电探测芯片的公司,从事光芯片的设计、生产和销售。英孚瑞的主营业务聚焦于光电芯片与智能装备两大类。光芯片产品包括宽光谱气体探测芯片、雪崩光电探测器、高频高速光电探测器、大功率DFB激光器、单光子探测器等,广泛应用于环境监测、光通信、医疗成像、工业检测、雷达、量子通信与军工等领域。装备类产品则覆盖SWIR工业相机、AI光谱仪、OCT医学影像设备,以及用于无人机与低空侦测的高功率激光装备等。公司在关键技术上取得多项突破,包括纳米应力调控实现超宽光谱探测、端面钝化技术提升激光器芯片寿命与良率、自主研制高功率DFB芯片和低暗电流单光子探测芯片,部分产品性能指标达到国际先进甚至领先水平。2024年,英孚瑞芯片出货量已达300万颗,装备出货超过1000台,在国产气体检测芯片领域市占率名列前茅。


图3、英孚瑞量产的部分产品,包括PIN型线性阵列光电探测器、大光敏面线性APD及光电探测器模块

