行业标准
论文分享

【会议论文】低值氧化物VPE法用于高纯度氧化镓生长

日期:2023-03-01阅读:192

        论文简介:来自日本NCT的Q. T. Thieu,K. Sasaki和A.Kuramata联合发表了一篇名为《Sub-oxide vapor phase epitaxy for the growth of high-purity gallium oxide》的论文文章。该文章介绍了氧化镓VPE法生长高纯氧化镓。