【会议论文】使用Ga₂O和H₂O气源对于β-Ga₂O₃生长的热力学分析

        论文简介：来自上智大学，大阪大学和伊藤忠塑料株式会社的R. Togashi，A. Suzuki，H. Ishida，S. Usami，M. Imanishi，M. Hata和Y. Mori联合发表了一篇名为《Thermodynamic analysis of β-Ga₂O₃ growth using Ga₂O and H₂O source gases》的论文文章。该文章介绍了关于β-Ga₂O₃生长方面的测试。