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【会议论文】额外的HCl对GaCl-O₂-N₂体系中Ga₂O₃颗粒形成的影响
日期:2023-02-27阅读:207
论文简介:来自东京农工大学和日本NCT的R. Nagano、K. Ema、K. Sasaki、A. Kuramata和H. Murakami联合发表了一篇名为《Effect of additional HCl on Ga2O3 particle formation in a GaCl-O2-N2 system》的论文文章。该文章介绍了Ga2O3的掺杂。