【其他论文】β-Ga₂O₃ 在皮秒脉冲激光干涉作用下产生的激光诱导周期性表面结构（LIPSS）

        由电子科技大学中山学院的研究团队在学术期刊 Optics Communications 发布了一篇名为 The Laser-Induced Periodic Surface Structures (LIPSS) generated by β-Ga₂O₃ under picosecond pulsed Laser interference（β-Ga₂O₃ 在皮秒脉冲激光干涉作用下产生的激光诱导周期性表面结构（LIPSS））的文章。

摘要

        作为一种新兴的宽禁带半导体材料，β-Ga₂O₃ 单晶在功率器件、日盲探测器和气体传感器领域展现出广阔的应用前景。然而，其显著的各向异性与较低的机械强度导致传统加工过程中易发生分层与碎裂，难以实现高精度复杂加工。本文采用皮秒脉冲激光进行微纳加工，通过损伤概率外推法测定单次皮秒脉冲激光照射下 β-Ga₂O₃ (010) 面的损伤阈值约为 1.85 J/cm²。随着脉冲次数增加，损伤阈值显著降低后趋于稳定，材料的激光损伤抗性逐渐趋于稳定。通过控制激光能量密度，可调节周期性结构的空间频率，实现了高、低空间频率表面周期性结构的选择性制备。

原文链接：

https://doi.org/10.1016/j.optcom.2025.132765