【器件论文】基于 Ni/β-Ga₂O₃ 肖特基势垒二极管紫外探测器的光电导增益行为
日期:2026-02-25阅读:74
由俄罗斯国立托木斯克大学的研究团队在学术期刊Micromachines发布了一篇名为Photoconductive Gain Behavior of Ni/β-Ga₂O₃ Schottky Barrier Diode-Based UV Detectors(基于 Ni/β-Ga₂O₃ 肖特基势垒二极管紫外探测器的光电导增益行为)的文章。
摘要
在本研究中,在一块非故意掺杂、取向为(−201)的 β-Ga₂O₃ 体单晶衬底上制备了垂直结构的 Ni/β-Ga₂O₃ 肖特基势垒二极管,并重点研究了其内在光响应机理。该器件表现出良好的整流特性,其肖特基势垒高度为 1.63 eV,理想因子为 1.39,在 ±2 V 偏压下的整流比高达约 9.7 × 10⁶。该结构对深紫外辐射(λ ≤ 280 nm)具有显著的敏感性,在 255 nm 处获得最大响应度,这与 β-Ga₂O₃ 的宽带隙特性相一致。在 254 nm 光照、功率密度为 620 μW/cm² 条件下,器件可在自供能模式下工作,产生 50 mV 的开路电压和 47 pA 的短路电流,验证了肖特基结内建电场对光生载流子的高效分离与收集能力。随着反向偏压由 0 V 增加至 −45 V,器件的响应度由 0.18 A/W 提升至 3.87 A/W,比探测率由 9.8 × 10⁸ 提升至 4.3 × 10¹¹ Hz0.5·cm·W⁻¹。该探测器还表现出优异的高速响应性能,在 10 V 偏压下,其上升时间和衰减时间分别不超过 29 ms 和 59 ms。此外,所研究的器件展现出明显的内部增益特性,其外量子效率高达 1.8 × 10³%。
原文链接:
https://doi.org/10.3390/mi17010100

