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【外延论文】铜与镁掺杂的 β 相 Ga₂O₃ 的 X 射线光电子能谱与光致发光研究

日期:2026-03-12阅读:33

        由美国加利福尼亚大学的研究团队在学术期刊 Applied Physics Letters 发布了一篇名为X-ray photoelectron spectroscopy and photoluminescence study of copper and magnesium doped beta-phase Ga2O3(铜与镁掺杂的 β 相 Ga2O3 的 X 射线光电子能谱与光致发光研究)的文章。

摘要

        采用等离子体辅助分子束外延技术,在 c 面蓝宝石衬底上生长了掺杂镁(Mg)、掺杂铜(Cu)以及 Mg 和 Cu 共掺杂的 β-Ga2O3 薄膜样品。X 射线光电子能谱分析证实了掺杂浓度。此外,在价带最大值附近观测到价带态密度变化,但所有掺杂样品均未出现费米能级位移,表明其导电性与未掺杂样品无异。采用 193nm ArF 激光激发进行室温光致发光(PL)表征,并实施 PL 峰值解卷积分析。未观测到近带边发射。各样品的PL主要由导带与自陷空穴能级间的光学跃迁以及施主-受主对跃迁主导。这些施主与受主分别源自氧空位(VO)和镓-氧空位复合体(VGa-VO)。未提取到可归因于 Mg 和 Cu 受主能级的可见跃迁。

 

原文链接:

https://doi.org/10.1063/5.0322948