【衬底论文】β-Ga₂O₃ (100) 原切单晶的表面终止

        由德国电子同步辐射加速器（DESY）的研究团队在学术期刊 Applied Physics Letters 发布了一篇名为Surface termination of β-Ga₂O₃(100) as-cleaved single crystals（β-Ga₂O₃ (100)原切单晶的表面终止）的文章。

摘要

        通过表面 X 射线衍射和原子力显微镜技术，研究了沿(100)晶面开裂的 β-Ga₂O₃ 单晶表面。结果表明该表面仅存在单一结构，即所谓的 B 型终止面，这意味着晶体沿由共边氧八面体构成的晶面劈裂，从而断裂最长且最弱的 Ga–O 键。原子位置精修显示其与体相结构存在微小位移，最大约 0.01 Å。原子力显微镜观测表明，表面形成相对宽阔的台阶结构，其台阶高度约为 a 轴长度的一半（约 0.6 nm），这意味着各台阶具有相同的原子终止面，且受晶体对称性约束。这些发现揭示了 Ga₂O₃ 在半导体加工与应用中的基础特性，具有重要意义。

原文链接：

https://doi.org/10.1063/5.0309937