【会员风采】会员单位 —— 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院

日期：2026-04-13阅读：57

一、单位简介

富睿思（上海）精密仪器有限公司（简称：富睿思仪器）是一家专注于表面精密测量设备研发与生产的高科技创新企业。立足于自主研发的技术底座，公司已成功推出国产原子力显微镜（AFM）、白光轮廓仪（WLI）以及原子力显微镜-白光轮廓仪联用系统等旗舰产品。公司核心团队成员均毕业于天津大学精仪系，在先进量测领域有数十年的技术积淀和实践经验。依托“上海总部+天津研发+苏州制造”的协同布局，富睿思仪器已构建起以技术攻关到产业化落地的完整闭环，致力于为科学研究、化合物半导体、Micro-LED及新型显示等前沿领域，提供性能卓越、稳定可靠的国产精密量测解决方案。

近年来，氧化镓作为超宽禁带半导体材料的战略前沿，在高压功率器件及深紫外光电领域展现出巨大潜力。然而，氧化镓从衬底制备到外延生长，面临着严苛的工艺挑战。富睿思仪器凭借深厚的技术积淀，为氧化镓产业链提供关键的“标尺”：在衬底与外延环节，富睿思原子力显微镜（AFM）系列产品凭借亚纳米级的分辨力，可精准表征晶圆表面形貌，通过监测化学机械抛光（CMP）后的原子级粗糙度，有效评估衬底质量；同时，AFM 能够深入探测外延层表面的微观缺陷，为生长工艺的优化提供核心数据支持。在器件开发阶段，AFM 不仅能进行关键结构的尺寸量测，更可实现表面电势（KPFM）、压电响应（PFM）等多种物性测量，助力科研与工艺人员深入洞察氧化镓材料的电学分布及物理特性。此外，结合白光轮廓仪（WLI）对晶圆大范围形貌的非接触式快速测量，富睿思可提供从宏观平整度、台阶高度到微观形貌的全尺度量测方案。富睿思愿以高品质的国产精密量测技术，协助产业链同仁精准掌控氧化镓材料的“精微之处”，为中国高端半导体产业的高质量发展提供坚实保障。