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【会议论文】具有可调带隙的外延(InGa)₂O₃和(AlGa)₂O₃薄膜的化学溶液沉积

日期:2023-04-21阅读:208

        论文简介:来自阿卜杜拉国王科技大学高级半导体实验室的X. Tang和X. Li联合发表了一篇名为《Chemical solution deposition of epitaxial (InGa)2O3 and (AlGa)2O3 thin films with tunable bandgaps》的论文文章。该文章介绍了关于化学溶液沉积方面的内容。