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【会议论文】植入硅的α-Al₂O₃的电气性能
日期:2023-04-21阅读:197
论文简介:来自筑波大学和日本国立材料研究所(NIMS)的Hironori Okumura、Riena Jinno、Akira Uedono和Masataka Imura联合发表了一篇名为《Electrical properties of silicon-implanted α-Al2O3》的论文文章。该文章介绍了植入硅的α-Al2O3的电气性能。
论文简介:来自筑波大学和日本国立材料研究所(NIMS)的Hironori Okumura、Riena Jinno、Akira Uedono和Masataka Imura联合发表了一篇名为《Electrical properties of silicon-implanted α-Al2O3》的论文文章。该文章介绍了植入硅的α-Al2O3的电气性能。