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【国际论文】Ceram Int丨俄罗斯托木斯克理工大学、哈萨克斯坦欧亚国立大学:高能电子束合成多孔氧化镓纳米陶瓷的结构与阴极发光特性

日期:2026-05-29阅读:117

        由俄罗斯托木斯克理工大学、哈萨克斯坦欧亚国立大学的研究团队在学术期刊 Ceramics International 发布了一篇名为Structure and cathodoluminescent properties of porous Ga₂O₃ nanoceramics synthesized by a high-power electron beam(高能电子束合成多孔氧化镓纳米陶瓷的结构与阴极发光特性)的文章。

 

背   景

        氧化镓(Ga₂O₃)因宽带隙(4.85 eV)及半导体特性,在功率电子、日盲探测等领域备受关注。其熔点高达1725℃,传统陶瓷/晶体合成方法(如Czochralski、MOCVD)耗时且常需助剂,易引入缺陷。高能电子束辐射合成法可在数秒内直接制备氧化物陶瓷,但该方法对 Ga₂O₃ 的相形成规律、缺陷发光动力学及粉末原料适配性尚缺乏系统研究。本文基于辐射合成法,系统研究电子束参数、粉末粒度对 Ga₂O₃ 纳米陶瓷结构及阴极发光特性的影响。

 

主要内容

        本文报道了采用辐射法合成 Ga₂O₃ 陶瓷及其结构与发光特性的研究结果。研究证实,无需添加任何额外物质,利用能量为 1.4 MeV 和 2.5 MeV、功率密度分别为 17 kW/cm² 和 26 kW/cm² 的高能电子流直接辐照 Ga₂O₃ 细粉,可实现 Ga₂O₃ 陶瓷的合成; 10×20×1.0 cm 坩埚内整体陶瓷合成时间仅为 10 s,合成效率达 95%–100%,受电子束能量功率密度影响。合成样品为多晶陶瓷结构,晶粒尺寸约 80 nm,以 Ga₂O₃ β 相为主。通过时间分辨光谱研究了阴极发光(CL)光谱的动态变化,发现 CL 光谱存在快速衰减和慢速衰减两个发射带,峰值分别位于 375 nm 和 440 nm;80 K和 300 K 下,375 nm 峰在 10–1200 ns 内占主导,其衰减曲线非单一指数,可由 1 个指数分量和 2 个双曲分量拟合;毫秒级时间范围内,440 nm 峰振幅占主导。温度从 300 K 降至 80 K 时,440 nm 峰蓝移、带宽减小,长寿命衰减分量对总信号振幅的贡献显著增加。对比陶瓷样品与原始粉末的 CL 光谱,发现二者性质定性相似,但紫外带峰值存在微小偏移,这可能是辐照对氧化镓晶格中氧空位数量影响所致。

 

创新点

        ·首次采用高能电子束(1.4/2.5 MeV)直接辐照合成多孔 Ga₂O₃ 纳米陶瓷,无需任何助剂,合成周期仅 10 s,效率达 95%–100%。

        ·合成产物为 β 相主导、晶粒约80 nm 的多晶多孔陶瓷,明确电子束功率密度阈值为 1.5 kW/cm²。

        ·揭示 Ga₂O₃ 陶瓷阴极发光双带(375 nm快衰减、440 nm慢衰减)的温度与时间依赖特性,阐明氧空位对发光峰偏移的影响。

 

总   结

        研究证实,利用能量为 1.4 MeV 和 2.5 MeV 的高能电子流直接辐照 Ga₂O₃ 粉末可制备Ga₂O₃ 纳米陶瓷;合成样品为多晶多孔陶瓷,晶粒尺寸约80 nm,以氧化镓 β 相为主,晶粒尺寸与原始粉末特性、粒度组成关联性弱,测试辐照条件下电子束功率密度、能量与晶粒尺寸无相关性。明确辐射合成效率(合成样品质量与消耗粉末质量比)接近 100% 的条件: 2.5 Me V电子束、26 kW/cm²功率密度时效率最高;1.4 MeV、17–18 kW/cm² 条件下效率也达 96%–98%。电子束能量影响其在原料中的穿透深度:1.4 MeV、2.5 MeV 电子束能量沉积最大区域分别位于 1 mm、2 mm 深度;合成效率随电子束功率密度升高而提升,1.5–7 kW/cm² 范围内呈线性关系,陶瓷合成需能量密度超过 1.5 kW/cm² 的临界值。粉末粒度影响合成效率,4–10 μm 为主、体积分布均匀的粉末为最优原料,过大或过小颗粒占比过高会降低合成产率。粉末原始特性影响陶瓷发光光谱与动力学特征,原料中未控杂质、形貌差异会影响晶格缺陷数量与结构。合成的 Ga₂O₃ 纳米陶瓷 CL 光谱存在 365 nm紫外快发射峰、440 nm 蓝色慢发射峰;激发结束后,纳秒至微秒级(~2 ms)内紫外峰占主导,更长时间后蓝峰占优;发光衰减含快慢分量,可由 65 ns 指数分量与 2个n=2、γ=2.8 和 0.8 的双曲分量叠加拟合,表明激发态弛豫存在中心内与复合发射过程。80 K低温下,发光峰蓝移、长波侧强度降低;原始粉末与合成陶瓷 CL 光谱定性相似,陶瓷紫外峰(365 nm)较粉末(360 nm)红移,源于高能电子束辐照对氧空位数量的调控,发光测试中光散射也可能导致峰偏移;二者发光动力学特征相近,仅慢分量贡献比例存在差异。

图 1 能量为 1.4 MeV 和 2.5 MeV 的电子在 Ga₂O₃ 粉末中穿行时的能量损失分布

图 2 合成用粉末的分散组成:Ga₂O₃-1(a,c)、Ga₂O₃-2(b,d)。图 a、b 为特定尺寸颗粒的相对数量和相对体积,图 c、d 为粉末的 SEM 照片

图 3 坩埚中 Ga₂O₃-1 陶瓷样品照片:无扫描模式、电子束参数 E=1.4 MeV、P=4 kW/cm²(a);扫描模式、E=1.4 MeV、P=17 kW/cm²(b);扫描模式、E=2.5 MeV、P=26 kW/cm²(c)

图 4 Ga₂O₃-2 陶瓷样品照片:无扫描模式、E=1.4 MeV、P=1.5、4.0、7.0 kW/cm²(a,b,c);扫描模式、P=18 kW/cm²(d)。比例尺单位为厘米

图 5 无扫描模式下、E=1.4 MeV 电子流的功率密度与陶瓷合成效率的关系

DOI:

doi.org/10.1016/j.ceramint.2026.04.221