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【会议论文】热剥离法生产的厘米级独立式Ga₂O₃薄膜

日期:2023-04-21阅读:206

        论文简介:来自阿卜杜拉国王科技大学先进半导体实验室电气和计算机工程项目的Yi Lu,、Shibin Krishna、Che-Hao Liao、Xiao Tang、Na Xiao和Xiaohang Li联合发表了一篇名为《Centimeter-scale freestanding Ga2O3 membrane by thermal exfoliation》的论文文章。该文章主要介绍了热剥离法生成的Ga2O3薄膜。