【衬底论文】β-Ga₂O₃ 中各向异性注入损伤的积累与晶体恢复

        由葡萄牙 INESC-MN 的研究团队在学术期刊Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 发布了一篇名为Anisotropic implantation damage build-up and crystal recovery in β-Ga₂O₃（β-Ga₂O₃ 中各向异性注入损伤的积累与晶体恢复）的文章。

摘要

        本研究旨在探究固有各向异性 β-Ga₂O₃ 晶格中注入缺陷的累积过程及晶体恢复动力学机制。针对 Cr 离子注入样品，在多个不同表面取向与沟道方向上，系统开展了沟道模式下的卢瑟福背散射光谱（RBS/C）分析。实验结果显示，沿不同沟道轴方向，缺陷累积现象与退火速率表现出显著差异，这一现象主要归因于特定类型缺陷在某些方向上的“阴影效应”。值得注意的是，退火后观察到的有效缺陷消除现象，与在低至 500 °C条件下通过高分辨率 X 射线衍射（HRXRD）检测到的应变弛豫现象密切相关，这一关联可归因于点缺陷的有效去除。进一步地，高温退火处理虽能持续提升晶体质量，但改善速率趋于平缓。综上所述，本研究深化了对离子注入过程中 β-Ga₂O₃ 结构各向异性特性影响机制的理解，同时揭示了热退火过程中晶体恢复的内在规律，凸显了晶体学特征与缺陷动力学之间的复杂相互作用。

原文链接：

https://doi.org/10.1016/j.nimb.2026.166157