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【会议论文】用热扩散合金法(TIA)制备功率器件的带隙可调的高晶体质量β-(AlGa)₂O₃模板
日期:2023-04-21阅读:171
论文简介:来自台湾云林科技大学未来BPIS学院和阿卜杜拉国王科技大学高级半导体实验室的Che-Hao Liao、Xiao Tang、Yi Lu、Shibin Krishna和Xiaohang Li联合发表了一篇名为《Bandgap-tunable high-crystal-quality β-(AlGa)2O3 template for power devices preparing by Thermal Interdiffusion Alloying (TIA) method》的论文文章。该文章介绍了用热扩散合金法制备功率器件。