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知识探索
【知识探索】薄膜沉积,芯片为什么要一层层“长出来”?
日期:2026-07-01
阅读:169
芯片制造不是一次把结构刻出来,而是在晶圆上反复沉积、光刻、刻蚀和清洗,一层层构建器件。PVD 像原子级喷涂,常用于金属薄膜;CVD 让反应气体在晶圆表面生成薄膜;ALD 则通过自限反应实现原子层级厚度控制。薄膜的均匀性、应力、覆盖性和缺陷,会直接影响后续工艺和芯片良率。
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