【国际论文】JAC | 土耳其伊斯坦布尔大学:晶体取向与Sn掺杂对β-Ga₂O₃单晶的结构、光学及拉曼各向异性的耦合效应
日期:2026-07-02阅读:161
由来自土耳其伊斯坦布尔大学的研究团队在学术期刊 Journal of Alloys and Compounds 发布了一篇名为 Coupled effects of crystallographic orientation and Sn-doping on the structural, optical, and Raman anisotropy of β-Ga₂O₃ single crystals(晶体取向与 Sn 掺杂对 β-Ga₂O₃ 单晶的结构、光学及拉曼各向异性的耦合效应)的文章。
背 景
单斜相 β-Ga₂O₃ 是热力学稳定的超宽禁带半导体材料,禁带宽度约 4.8–4.9 eV,兼具高击穿场强、优异热稳定性,可通过 EFG、直拉法制备大尺寸单晶衬底,在深紫外探测、高温功率电子、极端环境光电器件领域具备巨大应用潜力。β-Ga₂O₃ 属于低对称单斜晶系,晶体结构带来本征的结构、光学、拉曼各向异性,晶体取向会直接改变能带、双折射、声子散射与薄膜结晶质量,是材料表征与器件设计不可忽略的核心变量。
锡(Sn)是 β-Ga₂O₃ 主流浅施主掺杂元素,可精准调控载流子浓度,实现高导电 n 型单晶衬底;Sn 掺杂会引发 Burstein-Moss 带填充蓝移、杂质带、带尾畸变等光学变化,同时改变晶格局部成键与缺陷分布,显著影响拉曼声子响应。
现有研究大多单独探究晶体取向各向异性或 Sn 掺杂效应,缺少同一实验体系下,(001)、(201) 两种主流衬底取向结合梯度 Sn 载流子浓度的对照研究;对于 Sn 掺杂、晶向二者耦合作用下的晶体结构演化、吸收边偏移、偏振拉曼各向异性演变规律尚不清晰,250–257 cm⁻¹ 附近掺杂相关宽拉曼峰的晶向依赖性也缺少系统性验证,难以指导衬底选型与各向异性器件开发。因此本文采用角分辨 XRD、透射光谱、角分辨偏振拉曼对两种取向的非掺杂、梯度 Sn 掺杂 EFG β-Ga₂O₃ 单晶开展完整对比表征,揭示晶向与 Sn 掺杂的协同耦合效应。
主要内容
本研究采用角分辨 X 射线衍射、光吸收光谱、偏振拉曼散射,对比 (001) 与 (201) 取向的非故意掺杂、Sn 掺杂 EFG 法生长 β-Ga₂O₃ 单晶,探究晶体取向与 Sn 施主共掺的耦合作用。XRD 结果证实所有样品均为纯单斜相 β-Ga₂O₃,(001) 取向晶片衍射峰半高宽窄于 (201) 取向晶片。光吸收分析显示 Sn 掺杂引发有效吸收边蓝移,符合 Burstein–Moss 效应带来的施主带填充规律,同时近边吸收带表现出取向依赖变化。偏振拉曼测试表明声子角响应高度依赖振动模式与晶体取向;随 Sn 浓度升高,(001) 取向能够维持更稳定的拉曼各向异性特征,而 (201) 取向拉曼各向异性受掺杂诱导重分布效应更强。仅在 Sn 掺杂 (201) 样品中观测到 257 cm⁻¹ 附近宽拉曼特征峰,说明该拉曼信号对载流子浓度与晶体取向具有双重敏感性。本研究结果表明,Sn 掺杂 β-Ga₂O₃ 的材料性能评估必须纳入晶体取向维度,以此实现可靠衬底筛选与各向异性器件设计。
创新点
·首次在统一 EFG 单晶体系下,同步对照 (001)、(201) 两种工业主流 β-Ga₂O₃ 衬底,定量揭示晶体取向与 Sn 施主掺杂对结构、光学、拉曼各向异性的耦合协同作用,弥补单一取向研究的局限性。
·通过角分辨 XRD 定量证明 (001) 晶片结晶质量更优、衍射半高宽更小;(201) 衬底因更大偏角存在更强方位衍射强度调制效应,明确峰位稳定性与半高宽是比衍射强度更可靠的晶体质量评价指标。
·区分两种取向的 Burstein-Moss 蓝移幅度与近紫外带尾演化规律:(001) 带隙蓝移幅度更大,两类衬底分别呈现双带尾、单带尾两种吸收轮廓,证明晶向直接调控掺杂对带边畸变方式。
·偏振拉曼证实 (001) 取向具备掺杂稳定的各向异性指纹,适合作为标准化拉曼表征衬底;(201) 取向对 Sn 掺杂诱导晶格微扰高度敏感,仅该取向可观测 257 cm⁻¹ 施主相关宽拉曼峰,为掺杂无损检测提供专属表征窗口。
·建立唯象拉曼积分面积拟合模型,量化不同声子模式二叶、四叶角分布特征,阐明 Sn 掺杂仅改变拉曼散射强度、不改变特征角对称分布的物理规律,为各向异性器件衬底选型提供完整实验依据。
结 论
本文采用角分辨 X 射线衍射、光吸收光谱、偏振拉曼散射,对非故意掺杂与 Sn 掺杂 (001)、(201) 取向 β-Ga₂O₃ 单晶片开展全面研究。XRD 结果证实所有样品均为纯单斜相 β-Ga₂O₃,无二次相生成,衍射响应具有明显取向依赖性,(001) 晶片衍射峰宽度小于 (201) 晶片。衍射强度随方位角变化受晶片偏角与 θ–2θ 测试几何共同影响,相比衍射绝对强度,衍射峰位稳定性与半高宽是更可靠的结构对比依据。光吸收测试结果表明,两种取向样品吸收边均随 Sn 掺杂浓度升高发生蓝移,符合 n 型简并半导体的 Burstein–Moss 带填充效应;近边吸收轮廓演化同样存在取向差异,Sn 掺杂对带尾的调控作用必须结合晶体取向进行解读。偏振拉曼光谱直接证明 β-Ga₂O₃ 振动响应由晶体取向、拉曼张量投影、声子模式共同决定;(001) 晶片在全载流子浓度区间可维持稳定可复现的拉曼各向异性特征,(201) 晶片拉曼各向异性受掺杂诱导重分布效应更强。拉曼峰半高宽不随方位角与 Sn 浓度明显变化,说明高浓度施主掺杂下声子相干性仍可维持。仅在 Sn 掺杂 (201) 样品中观测到 257 cm⁻¹ 附近宽拉曼特征峰,该信号与 Sn 掺杂浓度、载流子浓度相关,且探测能力高度依赖晶体取向,不能简单归属于单一 Sn 局域振动模式。综合结果证明,β-Ga₂O₃ 的结构、光学、拉曼响应不能脱离晶体取向单独评估;(001) 取向可提供稳定的结构与拉曼各向异性标识,(201) 取向对施主掺杂引发的晶格振动重组更为敏感。该研究成果为 β-Ga₂O₃ 超宽禁带光电子材料的取向型表征、衬底筛选与工艺监测提供有效指导。

图 1. β-Ga₂O₃ 晶片上随方位旋转角变化的面内光束光斑分布与电磁波偏振示意图

图 2. (a)(001) 取向、(b)(201) 取向非掺杂与 Sn 掺杂 β-Ga₂O₃ 样品的角分辨 X 射线衍射谱;衍射峰位采用断轴展示,部分曲线乘以系数便于观测;图底紫色实线为 JCPDS 41–1103 标准谱,虚线仅作视觉参考

图 3. (001) 与 (201) 取向 β-Ga₂O₃ 样品光吸收分析;(a)(c) 为 Tauc 图 ((αE)²-光子能量) 展示本征吸收边,(b)(d) 分别对应两类样品对数吸收尾 ln (α)-能量曲线;点线、实线分别为带隙提取与带尾态线性拟合

图 4. 非掺杂与 Sn 掺杂 (001) 取向 β-Ga₂O₃ 样品角分辨偏振拉曼散射谱,标注特征 Ag、Bg 振动峰,虚线作视觉参考

图 5. (001) 取向样品拉曼积分面积随方位角变化极坐标图;实心圆点为实验数据,实线为描述角各向异性的唯象拟合曲线

图 6. 全部非掺杂、Sn 掺杂 (001) 取向 β-Ga₂O₃ 样品 203 cm⁻¹ Ag (3)、656 cm⁻¹ Bg (5) 拉曼峰半高宽随角度变化曲线
DOI :
10.1016/j.jallcom.2026.189404













